Počet záznamů: 1
Frequency Noise Properties of Lasers for Interferometry in Nanometrology
- 1.
SYSNO ASEP 0389837 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Frequency Noise Properties of Lasers for Interferometry in Nanometrology Tvůrce(i) Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Holá, Miroslava (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCIDCelkový počet autorů 4 Zdroj.dok. Sensors. - : MDPI
Roč. 13, č. 2 (2013), s. 2206-2219Poč.str. 14 s. Forma vydání Tištěná - P Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CH - Švýcarsko Klíč. slova nanometrology ; laser noise ; interferometry ; nanopositioning ; AFM Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP GPP102/11/P820 GA ČR - Grantová agentura ČR GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR KAN311610701 GA AV ČR - Akademie věd ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 UT WOS 000315403300049 EID SCOPUS 84875153830 DOI 10.3390/s130202206 Anotace In this contribution we focus on laser frequency noise properties and their influence on the interferometric displacement measurements. A setup for measurement of laser frequency noise is proposed and tested together with simultaneous measurement of fluctuations in displacement in the Michelson interferometer. Several laser sources, including traditional He-Ne and solid-state lasers, and their noise properties are evaluated and compared. The contribution of the laser frequency noise to the displacement measurement is discussed in the context of other sources of uncertainty associated with the interferometric setup, such as, mechanics, resolution of analog-to-digital conversion, frequency bandwidth of the detection chain, and variations of the refractive index of air. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2014
Počet záznamů: 1