Počet záznamů: 1  

Approaches to the Collection Contrast in the Immersion Objective Lens of the Scanning Electron Microscope

  1. 1.
    SYSNO ASEP0379916
    Druh ASEPC - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
    Zařazení RIVD - Článek ve sborníku
    NázevApproaches to the Collection Contrast in the Immersion Objective Lens of the Scanning Electron Microscope
    Tvůrce(i) Müllerová, Ilona (UPT-D) RID, SAI, ORCID
    Konvalina, Ivo (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Hovorka, Miloš (UPT-D)
    Mika, Filip (UPT-D) RID, SAI, ORCID
    Celkový počet autorů4
    Zdroj.dok.Coneference Proceedings APMC-10, ICONN 2012 and ACMM-22. - Wembley : EECW Pty Ltd, 2012 - ISBN 978-1-74052-245-8
    Rozsah stran410:1-2
    Poč.str.2 s.
    AkceAsia-Pacific Microscopy Conference (APMC-10) - International Conference on Nanoscience and Nanotechnology (ICONN 2012) - Australian Conference on Microscopy and Microanalysis (ACMM-22)
    Datum konání05.02.2012-09.02.2012
    Místo konáníPerth
    ZeměAU - Austrálie
    Typ akceWRD
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.AU - Austrálie
    Klíč. slovascanning electron microscopy ; cathode lens ; secondary electrons ; backscattered electrons
    Vědní obor RIVJA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    CEPFR-TI3/323 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
    Institucionální podporaUPT-D - RVO:68081731
    AnotaceSignal trajectories of secondary (SE) and backscattered electrons (BSE) were simulated for two cases: an immersion magnetic objective lens alone and for the case when an electrostatic immersion objective lens is added. Micrographs of a semiconductor structure are presented for these two set-ups.
    PracovištěÚstav přístrojové techniky
    KontaktMartina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
    Rok sběru2012
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.