Počet záznamů: 1
Approaches to the Collection Contrast in the Immersion Objective Lens of the Scanning Electron Microscope
- 1.
SYSNO ASEP 0379916 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Approaches to the Collection Contrast in the Immersion Objective Lens of the Scanning Electron Microscope Tvůrce(i) Müllerová, Ilona (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Konvalina, Ivo (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hovorka, Miloš (UPT-D)
Mika, Filip (UPT-D) RID, SAI, ORCIDCelkový počet autorů 4 Zdroj.dok. Coneference Proceedings APMC-10, ICONN 2012 and ACMM-22. - Wembley : EECW Pty Ltd, 2012 - ISBN 978-1-74052-245-8 Rozsah stran 410:1-2 Poč.str. 2 s. Akce Asia-Pacific Microscopy Conference (APMC-10) - International Conference on Nanoscience and Nanotechnology (ICONN 2012) - Australian Conference on Microscopy and Microanalysis (ACMM-22) Datum konání 05.02.2012-09.02.2012 Místo konání Perth Země AU - Austrálie Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. AU - Austrálie Klíč. slova scanning electron microscopy ; cathode lens ; secondary electrons ; backscattered electrons Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP FR-TI3/323 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Anotace Signal trajectories of secondary (SE) and backscattered electrons (BSE) were simulated for two cases: an immersion magnetic objective lens alone and for the case when an electrostatic immersion objective lens is added. Micrographs of a semiconductor structure are presented for these two set-ups. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2012
Počet záznamů: 1