Počet záznamů: 1  

Influence of methane concentration on diamond film morphology and growth rate

  1. 1.
    SYSNO ASEP0375449
    Druh ASEPK - Konferenční příspěvek (lokální konf.)
    Zařazení RIVZáznam nebyl označen do RIV
    NázevInfluence of methane concentration on diamond film morphology and growth rate
    Tvůrce(i) Ižák, Tibor (FZU-D) RID
    Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
    Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Potměšil, Jiří (FZU-D)
    Hruška, Karel (FZU-D) RID, ORCID
    Zdroj.dok.Proceedings of the 2nd Winter Education Seminar. - Praha : FZÚ AV ČR, 2011 / Remeš Z. ; Kromka A. ; Ledinský M. - ISBN 978-80-260-0911-5
    S. 28-32
    Poč.str.5 s.
    AkceWinter educational seminar /2./
    Datum konání16.02.2011-18.02.2011
    Místo konáníRokytnice n. J.
    ZeměCZ - Česká republika
    Typ akceCST
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.CZ - Česká republika
    Klíč. slovamicrocrystalline ; nanocrystalline diamond ; methane concentration ; SEM ; Raman
    Vědní obor RIVBM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    CEPMEB0810082 GA MŠk - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
    KAN400100701 GA AV ČR - Akademie věd
    IAAX00100902 GA AV ČR - Akademie věd
    MEB0810081 GA MŠk - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
    CEZAV0Z10100521 - FZU-D (2005-2011)
    AnotaceIn this study we investigated the influence of methane concentration on the diamond film growth. The experiments were carried out in focused microwave chemical vapour deposition system. The methane concentration was varied from 0.5% to 10 % of CH4 in H2 atmosphere. The final film morphology, chemical composition and growth rate were investigated by scanning electron microscopy (SEM), Raman spectroscopy and optical reflectance measurement. We observed, that increasing of CH4 concentration enhances the growth rate, but at the expense of the diamond film quality.
    PracovištěFyzikální ústav
    KontaktKristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
    Rok sběru2012
Počet záznamů: 1