Počet záznamů: 1
Influence of methane concentration on diamond film morphology and growth rate
- 1.
SYSNO ASEP 0375449 Druh ASEP K - Konferenční příspěvek (lokální konf.) Zařazení RIV Záznam nebyl označen do RIV Název Influence of methane concentration on diamond film morphology and growth rate Tvůrce(i) Ižák, Tibor (FZU-D) RID
Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Potměšil, Jiří (FZU-D)
Hruška, Karel (FZU-D) RID, ORCIDZdroj.dok. Proceedings of the 2nd Winter Education Seminar. - Praha : FZÚ AV ČR, 2011 / Remeš Z. ; Kromka A. ; Ledinský M. - ISBN 978-80-260-0911-5
S. 28-32Poč.str. 5 s. Akce Winter educational seminar /2./ Datum konání 16.02.2011-18.02.2011 Místo konání Rokytnice n. J. Země CZ - Česká republika Typ akce CST Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova microcrystalline ; nanocrystalline diamond ; methane concentration ; SEM ; Raman Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP MEB0810082 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy KAN400100701 GA AV ČR - Akademie věd IAAX00100902 GA AV ČR - Akademie věd MEB0810081 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy CEZ AV0Z10100521 - FZU-D (2005-2011) Anotace In this study we investigated the influence of methane concentration on the diamond film growth. The experiments were carried out in focused microwave chemical vapour deposition system. The methane concentration was varied from 0.5% to 10 % of CH4 in H2 atmosphere. The final film morphology, chemical composition and growth rate were investigated by scanning electron microscopy (SEM), Raman spectroscopy and optical reflectance measurement. We observed, that increasing of CH4 concentration enhances the growth rate, but at the expense of the diamond film quality. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2012
Počet záznamů: 1