Počet záznamů: 1
Pulsed linear antenna microwave plasma – a step ahead in large area material depositions and surface functionalization
- 1.
SYSNO ASEP 0374830 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Pulsed linear antenna microwave plasma – a step ahead in large area material depositions and surface functionalization Tvůrce(i) Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
Ižák, Tibor (FZU-D) RID
Potocký, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Davydova, Marina (FZU-D) RID, ORCID
Neykova, Neda (FZU-D) RID, ORCID
Kozak, Halyna (FZU-D) RID, ORCID
Remeš, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID
Hruška, Karel (FZU-D) RID, ORCID
Rezek, Bohuslav (FZU-D) RID, ORCIDZdroj.dok. NANOCON 2011. Conference proceedings. - Ostrava : Tanger Ltd, 2011 - ISBN 978-80-87294-27-7 Rozsah stran s. 271-279 Poč.str. 9 s. Akce NANOCON 2011. International Conference /3./ Datum konání 21.09.2011-23.09.2011 Místo konání Brno Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova microwave plasma ; CVD deposition ; diamond ; CNT ; graphene Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP GAP108/11/0794 GA ČR - Grantová agentura ČR MEB0810082 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy KAN400100701 GA AV ČR - Akademie věd IAAX00100902 GA AV ČR - Akademie věd CEZ AV0Z10100521 - FZU-D (2005-2011) UT WOS 000306686700040 Anotace A technological progress in the large area growth of diamond films and carbon nanotubes by the modified linear antenna MW system is presented. We show a correlation between process parameters and nano- or poly-crystalline film character. A challenging part, diamond coated mirrors or ATR prisms, are shown as multifunctional optical elements suitable for detection of absorbed molecules. Additional positive feature of the presented plasma system is low temperature hydrogen functionalization of diamond films. Finally, we present that combination of pulsed MW plasma with radiofrequency substrate biasing results in growth of oriented CNTs over large area. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2012
Počet záznamů: 1