Počet záznamů: 1  

Detection of Secondary Electrons by Scintillation Detector at VP SEM

  1. 1.
    SYSNO ASEP0368932
    Druh ASEPJ - Článek v odborném periodiku
    Zařazení RIVJ - Článek v odborném periodiku
    Poddruh JOstatní články
    NázevDetection of Secondary Electrons by Scintillation Detector at VP SEM
    Tvůrce(i) Jirák, J. (CZ)
    Čudek, P. (CZ)
    Neděla, Vilém (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Celkový počet autorů3
    Zdroj.dok.Microscopy and Microanalysis. - : Cambridge University Press - ISSN 1431-9276
    Roč. 17, Suppl. 2 (2011), s. 922-923
    Poč.str.2 s.
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.US - Spojené státy americké
    Klíč. slovavariable pressure scanning electron microscopes (VP-SEM) ; scintillation detector ; secondary electrons
    Vědní obor RIVJA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    CEPGAP102/10/1410 GA ČR - Grantová agentura ČR
    CEZAV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
    DOI10.1017/S1431927611005484
    AnotaceFor specimen observation in the scanning electron microscope operating at a higher pressure of gases in the specimen chamber (VP SEM) ionization and scintillation detectors are commonly used. The ionization detector detects a mixture of signals of secondary and backscattered electrons. Detection of predominantly secondary electrons is possible due to a special detector construction.
    PracovištěÚstav přístrojové techniky
    KontaktMartina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
    Rok sběru2012
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.