Počet záznamů: 1

Nanometrology Interferometric System for Local Probe Microscopy

SYSNO ASEP	0368141
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	D - Článek ve sborníku
Název	Nanometrology Interferometric System for Local Probe Microscopy
Tvůrce(i)	Hrabina, Jan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Lazar, Josef (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Číp, Ondřej (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Klapetek, P. (CZ)
Celkový počet autorů	4
Zdroj.dok.	Proceedings of the 20th IMEKO TC2 Symposium on Photonics in Measurement. - Aachen : Shaker Verlag, 2011 - ISBN 978-3-8440-0058-0
Rozsah stran	s. 17-20
Poč.str.	4 s.
Akce	IMEKO TC2 Symposium on Photonics in Measurement /20./
Datum konání	16.05.2011-18.05.2011
Místo konání	Linz
Země	AT - Rakousko
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	DE - Německo
Klíč. slova	atomic force microscopy (AFM) ; nanometrology ; nanopositioning interferometry ; nanoscale ; iodine cells ; spectroscopy
Vědní obor RIV	BH - Optika, masery a lasery
CEP	LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	KAN311610701 GA AV ČR - Akademie věd
	GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR
	GPP102/11/P820 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
Anotace	This work deals with the measuring in the nanoscale through local probe microscopy techniques, primarily the AFM microscopy. We present a new design of the six-axes dimensional interferometric measurement tool for local probe microscopy stage nanopositioning with the compensation system of angle errors. The measurement tool is powered by solid-state frequency-doubled Nd:YAG laser stabilized by linear absorption spectroscopy with the help of a new type of iodine absorption cell based on borosilicate glass material.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2012

Počet záznamů: 1