Počet záznamů: 1

AFM nanometrology interferometric system with the compensation of angle errors

SYSNO ASEP	0367516
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	D - Článek ve sborníku
Název	AFM nanometrology interferometric system with the compensation of angle errors
Tvůrce(i)	Hrabina, Jan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Lazar, Josef (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Klapetek, P. (CZ) Číp, Ondřej (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID}
Celkový počet autorů	4
Zdroj.dok.	Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VII (Proceedings of SPIE Vol. 8082). - Bellingham : SPIE, 2011 - ISBN 978-0-8194-8678-3
Rozsah stran	80823u:1-6
Poč.str.	6 s.
Akce	Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VII
Datum konání	23.05.2011-26.05.2011
Místo konání	Munich
Země	DE - Německo
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	US - Spojené státy americké
Klíč. slova	atomic force microscopy (AFM) ; nanometrology ; nanoscale ; nanopositioning ; interferometry ; abbe errors
Vědní obor RIV	BH - Optika, masery a lasery
CEP	LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	2C06012 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	2A-1TP1/127 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
	FT-TA3/133 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
	2A-3TP1/113 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
	GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR
	GA102/07/1179 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
UT WOS	000295076900133
DOI	10.1117/12.889544
Anotace	The contribution is oriented towards measuring in the nanoscale through local probe microscopy techniques, primarily the AFM microscopy. The need to make the AFM microscope a nanometrology tool not only the positioning of the tip has to be based on precise measurements but the traceability of the measuring technique has to be ensured up to the primary standard. This leads to the engagement of laser interferometric measuring methods. We present a improved design of the six-axes dimensional interferometric measurement tool for local probe microscopy stage nanopositioning with the compensation system of angle errors. The setup is powered with the help of a single-frequency frequency-doubled Nd:YAG laser which is stabilized by thermal frequency control locked to a Doppler-broadened absorption line in iodine. The laser stabilization technique is described together with comparison of frequency stability and angle errors compensation system performance.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2012

Počet záznamů: 1