Počet záznamů: 1
Multidimensional interferometric tool for the local probe microscopy nanometrology
- 1.
SYSNO ASEP 0366031 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Multidimensional interferometric tool for the local probe microscopy nanometrology Tvůrce(i) Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Klapetek, P. (CZ)
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCIDCelkový počet autorů 4 Zdroj.dok. Measurement Science and Technology. - : Institute of Physics Publishing - ISSN 0957-0233
Roč. 22, č. 9 (2011), 094030:1-8Poč.str. 8 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. GB - Velká Británie Klíč. slova atomic force microscopy (AFM) ; nanometrology ; nanopositioning interferometry ; nanoscale Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy KAN311610701 GA AV ČR - Akademie věd GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) UT WOS 000294764800031 EID SCOPUS 80051703947 DOI 10.1088/0957-0233/22/9/094030 Anotace This work reports on the measurement at the nanoscale using local probe microscopy techniques, primarily atomic force microscopy. Recent applications using the atomic force microscope as a nanometrology tool require that not only the positioning of the tip has to be based on precise measurements but also the traceability of the measuring technique has to be ensured up to the primary standard. Thus, in our experimental work, laser interferometric measuring methods were employed. In this paper, a new design of the six-axis-dimensional interferometric measurement tool for local probe microscopy stage nanopositioning is presented. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2012
Počet záznamů: 1