Počet záznamů: 1

FIB Induced Damage Examined with the Low Energy SEM

SYSNO ASEP	0365942
Druh ASEP	J - Článek v odborném periodiku
Zařazení RIV	J - Článek v odborném periodiku
Poddruh J	Článek ve WOS
Název	FIB Induced Damage Examined with the Low Energy SEM
Tvůrce(i)	Mikmeková, Šárka (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Matsuda, K. (JP) Watanabe, K. (JP) Ikeno, S. (JP) Müllerová, Ilona (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Frank, Luděk (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID}
Celkový počet autorů	6
Zdroj.dok.	Materials Transactions. - : Japan Institute of Metals and Materials - ISSN 1345-9678 Roč. 52, č. 3 (2011), s. 292-296
Poč.str.	5 s.
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	JP - Japonsko
Klíč. slova	scanning low energy electron microscopy ; focused ion beam ; beam induced damage ; sputtering
Vědní obor RIV	JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
CEP	OE08012 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
UT WOS	000290461000006
EID SCOPUS	79955786544
DOI	10.2320/matertrans.MB201005
Anotace	The surface morphology of pure Mg was studied by means of the cathode lens mode equipped scanning low energy electron microscope after bombarding with Ga(+) ions at various energies (10, 20, 30, and 40 keV) and incident angles (0 degrees, 30 degrees, 45 degrees, and 60 degrees). In accordance with the Bradley-Harper theory at off-normal angles of incidence ripples were observed on the irradiated areas. The Monte Carlo program SRIM2008 was used to estimate the sputtering yield and damage depth.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2012

Počet záznamů: 1