Počet záznamů: 1

Deposition of PZT thin film onto copper-coated polymer films by mean of pulsed-DC and RF-reactive sputtering

SYSNO ASEP	0364652
Druh ASEP	J - Článek v odborném periodiku
Zařazení RIV	J - Článek v odborném periodiku
Poddruh J	Článek ve WOS
Název	Deposition of PZT thin film onto copper-coated polymer films by mean of pulsed-DC and RF-reactive sputtering
Tvůrce(i)	Suchaneck, G. (DE) Labitzke, R. (DE) Adolphi, B. (DE) Jastrabík, Lubomír (FZU-D)_{RID, ORCID} Adámek, Petr (FZU-D)_{RID, ORCID} Drahokoupil, Jan (FZU-D)_{RID, ORCID} Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Kiselev, D.A. (PT) Kholkin, A. L. (PT) Gerlach, G. (DE) Dejneka, Alexandr (FZU-D)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	Surface and Coatings Technology. - : Elsevier - ISSN 0257-8972 Roč. 205, č. 2 (2011), S241-S244
Poč.str.	4 s.
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	CH - Švýcarsko
Klíč. slova	pulsed DC reactive sputtering ; RF reactive sputtering ; complex oxide film deposition ; polymer substrate
Vědní obor RIV	BH - Optika, masery a lasery
CEP	GC202/09/J017 GA ČR - Grantová agentura ČR
	KAN301370701 GA AV ČR - Akademie věd
	1M06002 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
UT WOS	000293258600051
DOI	10.1016/j.surfcoat.2011.02.050
Anotace	In this work, Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin films were deposited onto flexible Cu-coated Kapton® substrates by means of reactive magnetron sputtering for the first time. Different power supplies were selected for each of the 200 mm targets to adjust film composition and substrate ion bombardment. High-power pulse sputtering has been employed for the Zr-target to enhance for formation of nanocrystals, pulsed DC sputtering for the Ti-target to provide a high enough sputter yield, and RF-sputtering for the Pb-target to prevent droplet formation.Observed piezoelectric properties demonstrate that rapid-temperature-annealed films are promising for application in flexible piezoelectric sensors, actuators and power generators.
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2012

Počet záznamů: 1