Počet záznamů: 1
Very low energy scanning electron microscopy
- 1.
SYSNO ASEP 0358595 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Very low energy scanning electron microscopy Tvůrce(i) Frank, Luděk (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Hovorka, Miloš (UPT-D)
Konvalina, Ivo (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Mikmeková, Šárka (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Müllerová, Ilona (UPT-D) RID, SAI, ORCIDCelkový počet autorů 5 Zdroj.dok. Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section A. - : Elsevier - ISSN 0168-9002
Roč. 645, č. 1 (2011), s. 46-54Poč.str. 9 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. NL - Nizozemsko Klíč. slova scanning electron microscopy ; low energy electrons ; cathode lens ; very low energy STEM ; grain contrast Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP OE08012 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) UT WOS 000292713900011 EID SCOPUS 79958220479 DOI 10.1016/j.nima.2010.12.214 Anotace An overview of recent developments in very low energy scanning electron microscopy is presented. Electron optical aspects are briefly summarized including the low energy beam formation in a cathode lens equipped column, comparison of the sequential and overlapped electric and magnetic fields in the objective lens, and detection issues including extension to the transmitted electron mode as well as to the multichannel detection of signal sorted according to the polar angle of emission. In addition to the acquisition of contrasts specific for the very low energy range, advantages of detection of electrons backscattered to large angles from the surface normal are demonstrated on selected application examples. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2012
Počet záznamů: 1