Počet záznamů: 1  

Detection of Secondary Electrons by Scintillation Detector in Variable Pressure Scanning Electron Microscopes

  1. 1.
    SYSNO ASEP0353046
    Druh ASEPC - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
    Zařazení RIVD - Článek ve sborníku
    NázevDetection of Secondary Electrons by Scintillation Detector in Variable Pressure Scanning Electron Microscopes
    Tvůrce(i) Jirák, J. (CZ)
    Čudek, P. (CZ)
    Neděla, Vilém (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Celkový počet autorů3
    Zdroj.dok.Proceedings of the 17th IFSM International Microscopy Congress. - Rio de Janeiro : Sociedade Brasileira de Microscopia e Microanilise, 2010 - ISBN 978-85-63273-06-2
    Rozsah strani10.14: 1-2
    Poč.str.2 s.
    AkceInternational Microscopy Congress (IMC17) /17./
    Datum konání19.09.2010-24.09.2010
    Místo konáníRio de Janeiro
    ZeměBR - Brazílie
    Typ akceWRD
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.BR - Brazílie
    Klíč. slovaVPSEM ; scintillation detector
    Vědní obor RIVJA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    CEPGAP102/10/1410 GA ČR - Grantová agentura ČR
    CEZAV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
    AnotaceDetection of signal electrons at a higher pressure in the specimen chamber of a variable pressure scanning electron microscope (VP SEM) is commonly based on ionization and scintillation types of detectors. Detection of secondary electrons by the scintillation detector requires adding a voltage up to 10 kV to the scintillator. Secondary electrons accelerated in an electric field with this voltage acquire sufficient energy to generate photons in the scintillation material. Because of problems with electric discharges originating at higher pressures of gases in the specimen chamber of VP SEM, the scintillator of the secondary electron detector has to be positioned in a special room with a pressure up to several Pa, while pressures in the specimen chamber may reach 1 000 Pa. Such detectors where the scintillator is placed in a separately evaporated room were published by Slowko and Jacka et al.
    PracovištěÚstav přístrojové techniky
    KontaktMartina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
    Rok sběru2011
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.