Education and research at clean room laboratory for silicon device technology at Masaryk University

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO ASEP	0352495
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	D - Článek ve sborníku
Název	Education and research at clean room laboratory for silicon device technology at Masaryk University
Tvůrce(i)	Mikulík, P. (CZ) Humlíček, J. (CZ) Kulha, P. (CZ) Hovorka, Miloš (UPT-D) Kadlec, Filip (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI}
Celkový počet autorů	5
Zdroj.dok.	12th Scientific and Business Conference SILICON 2010. - Rožnov pod Radhoštěm : TECON Scientific s.r.o, 2010 - ISBN 978-80-254-7361-0
Rozsah stran	s. 455-456
Poč.str.	2 s.
Akce	SILICON 2010 /12./
Datum konání	02.11.2010-05.11.2010
Místo konání	Rožnov pod Radhoštěm
Země	CZ - Česká republika
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	CZ - Česká republika
Klíč. slova	clean room ; microelectronic ; silicon device technology
Vědní obor RIV	JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
CEP	IAA100100907 GA AV ČR - Akademie věd
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
	AV0Z10100520 - FZU-D (2005-2011)
Anotace	We present education and research at university clean room microelectronics laboratory for silicon device technology opened at Masaryk University in 2007. T
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2011

Počet záznamů: 1