Počet záznamů: 1

Modification of the Schottky FE ZrO/W electron emitter

SYSNO ASEP	0352423
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	D - Článek ve sborníku
Název	Modification of the Schottky FE ZrO/W electron emitter
Tvůrce(i)	Matějka, František (UPT-D)_{RID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Král, Stanislav (UPT-D)_{RID, SAI}
Celkový počet autorů	4
Zdroj.dok.	Proceedings of the 17th IFSM International Microscopy Congress. - Rio de Janeiro : Sociedade Brasileira de Microscopia e Microanilise, 2010 - ISBN 978-85-63273-06-2
Rozsah stran	i1.12: 1-2
Poč.str.	2 s.
Akce	International Microscopy Congress (IMC17) /17./
Datum konání	19.09.2010-24.09.2010
Místo konání	Rio de Janeiro
Země	BR - Brazílie
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	BR - Brazílie
Klíč. slova	e-beam writing system ; rectangular-shaped electron beam ; point projection
Vědní obor RIV	JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
CEP	IAA100650803 GA AV ČR - Akademie věd
	FR-TI1/576 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
Anotace	A Schottky electron emitter with a layer of ZrOx is used in our e-beam writing system working with a rectangular-shaped electron beam. The low radius of the tip less than 300 nm is necessary for the proper function of the electron-optical system based on the principle of point projection.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2011

Počet záznamů: 1