Počet záznamů: 1
Interferometer Controlled Positioning for Nanometrology
- 1.
SYSNO ASEP 0352196 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Interferometer Controlled Positioning for Nanometrology Tvůrce(i) Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Čížek, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Šerý, Mojmír (UPT-D) RID, SAICelkový počet autorů 5 Zdroj.dok. Proceedings of the International Conference on Nanotechnology: Fundamentals and Applications. - Ottawa : International ASET, 2010 - ISBN 978-0-9867183-0-4 Rozsah stran 525: 1-5 Poč.str. 5 s. Akce Nanotechnology: Fundamentals and Applications Datum konání 04.08.2010-06.08.2010 Místo konání Ottawa Země CA - Kanada Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CA - Kanada Klíč. slova atomic force microscopy ; interferometer controlled positioning Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy KAN311610701 GA AV ČR - Akademie věd FR-TI1/241 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Anotace We present a system for dimensional nanometrology based on scanning probe microscopy techniques (primarily atomic force microscopy, AFM) for detection of sample profile combined with interferometer controlled positioning. The interferometric setup not only improves resolution of the position control but also ensures direct traceability to the primary etalon of length. The system was developed to operate at and in cooperation with the Czech metrology institute for calibration purposes and nanometrology. The interferometers are supplied from a frequency doubled Nd:YAG laser stabilized by linear absorption spectroscopy in molecular iodine and the interferometric configuration controls the stage position in all six degrees of freedom. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2011
Počet záznamů: 1