Počet záznamů: 1
Semiconductor laser sources at 760 nm wavelength for nanometrology
- 1.
SYSNO ASEP 0352185 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Semiconductor laser sources at 760 nm wavelength for nanometrology Tvůrce(i) Mikel, Břetislav (UPT-D) RID, SAI
Buchta, Zdeněk (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCIDCelkový počet autorů 4 Zdroj.dok. Proceedings of the 9th WSEAS International Conference on Microelectronics, Nanoelectronics, Optoelectronic. - Sofia : WSEAS EUROPMENT Press, 2010 - ISSN 1790-5117 - ISBN 978-954-92600-3-8 Rozsah stran s. 96-101 Poč.str. 6 s. Akce WSEAS International Conference on Microelectronics, Nanoelectronics, Optoelectronic /9./ Datum konání 29.05.2010-31.10.2010 Místo konání Catania Země IT - Itálie Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. BG - Bulharsko Klíč. slova laser interferometry ; absolute measurement ; tunable laser diodes Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP 2A-1TP1/127 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy GP102/09/P293 GA ČR - Grantová agentura ČR GP102/09/P630 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Anotace Measurement with nanometer resolution is required for the next advance in nanotechnology. Especially the noncontacting methods of measurement are very .promising. We present the set-up of the laser interferometer with nanometer resolution. A stabilized laser source with the DFB (Distributed FeedBack) laser diode was developed and its realization was implemented to the laser interferometer. The output of the DFB laser source and the design of optical set-up of the laser interferometer are realized by fiber optics. It will improve repeatability of measuring by reducing the influence of the index of refraction of air. The measurement probe is realized by standard optical fiber with reflection coated optical connector. Due to using of the DFB laser source it is possible to measure of the length in incremental or absolute regime. The stability and the tunability of the wavelength of the laser source are crucial parameters to improve resolution and accuracy of the laser interferometer. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2011
Počet záznamů: 1