Počet záznamů: 1  

Semiconductor laser sources at 760 nm wavelength for nanometrology

  1. 1.
    SYSNO ASEP0352185
    Druh ASEPC - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
    Zařazení RIVD - Článek ve sborníku
    NázevSemiconductor laser sources at 760 nm wavelength for nanometrology
    Tvůrce(i) Mikel, Břetislav (UPT-D) RID, SAI
    Buchta, Zdeněk (UPT-D) RID, SAI, ORCID
    Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
    Celkový počet autorů4
    Zdroj.dok.Proceedings of the 9th WSEAS International Conference on Microelectronics, Nanoelectronics, Optoelectronic. - Sofia : WSEAS EUROPMENT Press, 2010 - ISSN 1790-5117 - ISBN 978-954-92600-3-8
    Rozsah strans. 96-101
    Poč.str.6 s.
    AkceWSEAS International Conference on Microelectronics, Nanoelectronics, Optoelectronic /9./
    Datum konání29.05.2010-31.10.2010
    Místo konáníCatania
    ZeměIT - Itálie
    Typ akceWRD
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.BG - Bulharsko
    Klíč. slovalaser interferometry ; absolute measurement ; tunable laser diodes
    Vědní obor RIVBH - Optika, masery a lasery
    CEP2A-1TP1/127 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
    ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
    GP102/09/P293 GA ČR - Grantová agentura ČR
    GP102/09/P630 GA ČR - Grantová agentura ČR
    CEZAV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
    AnotaceMeasurement with nanometer resolution is required for the next advance in nanotechnology. Especially the noncontacting methods of measurement are very .promising. We present the set-up of the laser interferometer with nanometer resolution. A stabilized laser source with the DFB (Distributed FeedBack) laser diode was developed and its realization was implemented to the laser interferometer. The output of the DFB laser source and the design of optical set-up of the laser interferometer are realized by fiber optics. It will improve repeatability of measuring by reducing the influence of the index of refraction of air. The measurement probe is realized by standard optical fiber with reflection coated optical connector. Due to using of the DFB laser source it is possible to measure of the length in incremental or absolute regime. The stability and the tunability of the wavelength of the laser source are crucial parameters to improve resolution and accuracy of the laser interferometer.
    PracovištěÚstav přístrojové techniky
    KontaktMartina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
    Rok sběru2011
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.