Počet záznamů: 1
Fabrication of nanostructured aluminium thin film and in-situ monitoring of the growth
- 1.
SYSNO ASEP 0351617 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Fabrication of nanostructured aluminium thin film and in-situ monitoring of the growth Tvůrce(i) Novotný, Michal (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Bulíř, Jiří (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Lančok, Ján (FZU-D) RID, ORCID
Pokorný, Petr (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Bodnár, Michal (FZU-D)
Piksová, K. (CZ)Zdroj.dok. Nanostructured Thin Films III. - Bellingham : SPIE, 2010 / Martin-Palma R.J. ; Jen Y.-J. ; Lakhtakia A. - ISSN 0277-786x - ISBN 9780819482624 Rozsah stran 7766ou/1-7766ou/8 Poč.str. 8 s. Akce Nanostructured Thin Films III Datum konání 04.08.2010-05.08.2010 Místo konání San Diego Země US - Spojené státy americké Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova aluminium ultra thin film ; magnetron sputtering ; in-situ monitoring ; electrical conductivity ; spectral ellipsometry ; optical emission spectroscopy Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP IAA100100718 GA AV ČR - Akademie věd KAN400100653 GA AV ČR - Akademie věd GP202/09/P324 GA ČR - Grantová agentura ČR IAA100100729 GA AV ČR - Akademie věd CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Anotace Ultrathin nanostructured metal films exhibit unusual properties and performances. Film functional properties depend strongly on the nanostructure that can be manipulated by varying nucleation and growth conditions. Hence, in order to control the nanostructure of aluminium thin film fabricated by RF magnetron sputtering, we focus on in-situ monitoring of electrical and optical properties of the growing layer as well as plasma characterization by mass and optical emission spectroscopy. The electrical conductivity and I-V characteristics were measured. The optical constants were obtained from optical monitoring based on a spectral ellipsometry. The relevant models (based on one or two Lorentz oscillators and B-spline function) are suggested to evaluate the data obtained from the monitoring techniques. The results of the in-situ monitoring are correlated with SEM analyses. We demonstrate the monitoring can distinguish the growth mode in the real-time. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2011
Počet záznamů: 1