Počet záznamů: 1
Novel concepts for low-pressure, low-temperature nanodiamond growth using MW linear antenna plasma sources
- 1.
SYSNO ASEP 0342754 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Novel concepts for low-pressure, low-temperature nanodiamond growth using MW linear antenna plasma sources Tvůrce(i) Vlček, J. (CZ)
Fendrych, František (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Taylor, A. (US)
Kratochvílová, Irena (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Fekete, Ladislav (FZU-D) RID, ORCID
Nesládek, Miloš (FZU-D)
Liehr, M. (DE)Zdroj.dok. Diamond Electronics and Bioelectronics - Fundamentals to Applications III. - Warrendale, PA : Materials Research Society, 2010 / Bergonzo P. ; Butler J.E. ; Jackman R.B. ; Loh K.P. ; Nesladek M. - ISBN 978-1-60511-176-6 Rozsah stran 1203-j05-05 /6 s. Poč.str. 6 s. Akce MRS Fall Meeting 2009 Datum konání 26.11.2009-02.12.2009 Místo konání Boston Země US - Spojené státy americké Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova nanodiamond layer ; MW ; linear antenna ; plasma sources Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP KAN200100801 GA AV ČR - Akademie věd KAN300100801 GA AV ČR - Akademie věd KAN301370701 GA AV ČR - Akademie věd KAN400480701 GA AV ČR - Akademie věd CEZ AV0Z10100520 - FZU-D (2005-2011) Anotace Industrial applications of PE MWCVD diamond grown on large area substrates, 3D shapes, at low substrate temperatures and on standard engineering substrate materials require novel plasma concepts. Based on the pioneering work of the group at AIST in Japan, highdensity coaxial delivery type of plasmas have been explored [1]. However, an important challenge is to obtain commercially interesting growth rates at very low substrate temperatures. In the presented work we introduce the concept of novel linear antenna sources, designed at Leybold Optics Dresden, using high-frequency pulsed MW discharge. We present data on high plasma densities in this type of discharge (> 10 E11 cm-3), accompanied by data from OES for CH4 – CO2 - H2 gas chemistry and the basic properties of the nano-crystalline diamond (NCD)films grown. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2011
Počet záznamů: 1