| SYSNO ASEP | 0336643
|
|---|
| Druh ASEP | L - Prototyp, funkční vzorek
|
|---|
| Zařazení RIV | G - Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)
|
|---|
| Poddruh RIV | Funkční vzorek
|
|---|
| Název | Manipulátor vzorku pro ultra-vysoko-vakuový rastrovací elektronový mikroskop s pomalými elektrony
|
|---|
| Překlad názvu | Specimen manipulator for the ultra-high-vacuum scanning electron microscope with slow electrons
|
|---|
| Tvůrce(i) | Klein, Pavel (UPT-D)
|
|---|
| Rok vydání | 2009
|
|---|
| Int.kód | 5511-2
|
|---|
| Lokalizace výsledku | Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
|
|---|
| Technické parametry | Vysoce stabilní manipulátor pro práci v tlaku 10E-8 Pa, plynule regulovatelné pohyby +- 5 mm v rovině v obou směrech a +- 10,5 mm ve svislém směru, přesný náklon +-5 deg ve dvou navzájem kolmých směrech, rotace +- 8 deg
|
|---|
| Ekonomické parametry | Funkční vzor je doprovázen kompletní výkresovou dokumentací a je experimentálně odzkoušen při dlouhodobém zkušebním provozu. Je vhodný pro UHV aparatury ke studiu čistých povrchů pevných látek.
|
|---|
| Název vlastníka | Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
|
|---|
| IČ vlastníka | 68081731
|
|---|
| Kat.výsl.dle nákl. | A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč
|
|---|
| Využ. jiným subjektem | A - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
|
|---|
| Požad. na licenč. popl. | A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek
|
|---|
| Jazyk dok. | cze - čeština
|
|---|
| Země vlastníka | CZ - Česká republika
|
|---|
| Klíč. slova | UHV specimen stage ; surface analysis
|
|---|
| Vědní obor RIV | JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
|
|---|
| CEZ | AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
|
|---|
| Anotace | Funkční vzor manipulátoru vzorku je určen pro ultravysokovakuový rastrovací mikroskop s pomalými elektrony, vybavený tzv. katodovou čočkou, která přivádí na preparát vysoký potenciál. Tím jsou dopadající elektrony brzděny na libovolně nízkou energii dopadu. Preparát je jednou z elektrod katodové čočky a proto musí být k dispozici extrémně přesné vyrovnání rovnoběžnosti aktivního povrchu vzorku s anodou katodové čočky pomocí dvou jemně ovladatelných, nezávislých náklonů vzorku v navzájem kolmých rovinách. Manipulátor umožňuje dosáhnout zobrazení vzorku při libovolně nízké energii elektronů s vysokým rozlišením.
|
|---|
| Překlad anotace | The function sample of the specimen stage is intended for an ultrahigh vacuum scanning microscope with slow electrons, equipped with so called cathode lens biasing the specimen to a high potential. In this way the incident electrons are retarded to an arbitrarily low energy of impact. The specimen represents one electrode of the cathode lens so an extremely precise balancing of parallelism of its surface with respect to the anode of the cathode lens is necessary by means of two finely controllable, independent specimen tilts in mutually perpendicular planes is necessary. The specimen stage enables one to image the specimen at arbitrarily low energy of electrons at high resolution.
|
|---|
| Pracoviště | Ústav přístrojové techniky
|
|---|
| Kontakt | Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
|
|---|
| Rok sběru | 2010
|
|---|
