Počet záznamů: 1
Green Light Interferometry for Metrological SPM Positioning
- 1.
SYSNO ASEP 0335098 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Green Light Interferometry for Metrological SPM Positioning Tvůrce(i) Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Klapetek, P. (CZ)
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Čížek, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Šerý, Mojmír (UPT-D) RID, SAICelkový počet autorů 6 Zdroj.dok. MOC'09 - 15th Microoptics Conference. - Tokyo : Microoptics Group (OSJ/JSAP), 2009 - ISBN 978-4-86348-037-7 Rozsah stran s. 232-233 Poč.str. 2 s. Akce MOC'09 - Microoptics Conference /15./ Datum konání 25.10.2009-28.10.2009 Místo konání Tokyo Země JP - Japonsko Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. JP - Japonsko Klíč. slova scanning probe microscopy ; Nd:YAG laser ; green light interferometry Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy 2C06012 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy 2A-1TP1/127 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu FT-TA3/133 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu 2A-3TP1/113 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR GA102/07/1179 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Anotace We present an arrangement for dimensional metrology of nanostructures based on various techniques of scanning probe microscopy (SPM) combined with a precision positioning of a sample. The system was developed to operate at and in cooperation with the Czech metrology institute for calibration purposes and nanometrology. Traceability of the position monitoring and control of the scanning stage is ensured by full six axes interferometric displacement measurements. The interferometers are supplied from a frequency doubled Nd:YAG laser stabilized by linear absorption spectroscopy in molecular iodine. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2010
Počet záznamů: 1