Počet záznamů: 1
RBS/channelling study of Er+ ion-implanted lithium niobate structure after an annealing procedure
- 1.
SYSNO ASEP 0332850 Druh ASEP A - Abstrakt Zařazení RIV Záznam nebyl označen do RIV Zařazení RIV Není vybrán druh dokumentu Název RBS/channelling study of Er+ ion-implanted lithium niobate structure after an annealing procedure Tvůrce(i) Macková, Anna (UJF-V) RID, ORCID, SAI
Malinský, Petr (UJF-V) RID, ORCID, SAI
Švecová, B. (CZ)
Nekvindová, P. (CZ)
Grotzschel, R. (DE)Celkový počet autorů 5 Zdroj.dok. Abstract book, 19th International conference on Ion beam analysis. - Cambridge : IOP, Institute of physics, 2009 Poč.str. 1 s. Akce 19th International conference on Ion beam analysis Datum konání 07.09.2009-11.09.2009 Místo konání Cambridge Země GB - Velká Británie Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. GB - Velká Británie Klíč. slova Lithium niobate ; Erbium ; Ion implantation ; RBS/channelling Vědní obor RIV BG - Jaderná, atomová a mol. fyzika, urychlovače CEP LC06041 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy CEZ AV0Z10480505 - UJF-V (2005-2011) Anotace Erbium-doped lithium niobate (Er:LiNbO3) is a prospective photonics component. We have focused on the structure of the Er:LiNbO3 layers, which are fabricated by 330 keV erbium ion implantation in the X, Z and two types of Y crystallographic cuts of LiNbO3 and annealed at 350°C to reconstruct the as-implanted layer and to avoid the evolution of Er precipitates. The depth distribution of the implanted Er was measured by Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS). The defect distribution and structural changes were described using the RBS/channelling method. The data obtained made it possible to reveal the relations between the crystallographic orientation of the implanted crystal and the during the restoration process. The deepest modified layer was observed in the perpendicular Y cut, which also exhibits the lowest reconstruction after annealing. The shallowest depth of modification and good recovery after annealing were observed in the Z cut of LiNbO3. Pracoviště Ústav jaderné fyziky Kontakt Markéta Sommerová, sommerova@ujf.cas.cz, Tel.: 266 173 228 Rok sběru 2010
Počet záznamů: 1