Počet záznamů: 1  

Deposition of Germanium Nanowires from Digermane Precursor: Influence of the Substrate Pretreatment

  1. 1.
    SYSNO ASEP0330695
    Druh ASEPC - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
    Zařazení RIVZáznam nebyl označen do RIV
    NázevDeposition of Germanium Nanowires from Digermane Precursor: Influence of the Substrate Pretreatment
    Překlad názvuDepozice germaniových nanodrátů z digermánu: Vliv úpravy substrátu
    Tvůrce(i) Dřínek, Vladislav (UCHP-M) RID, ORCID, SAI
    Fajgar, Radek (UCHP-M) RID, ORCID, SAI
    Šubrt, Jan (UACH-T) SAI, RID
    Klementová, Mariana (UACH-T) RID, SAI, ORCID
    Zdroj.dok.Meeting Abstracts. - - : -, 2009 - ISBN N
    Rozsah stranabs.2621
    Poč.str.1 s.
    Forma vydáníCD-ROM - CD-ROM
    AkceECS Meeting /216./
    Datum konání04.10.2009-09.10.2009
    Místo konáníVienna
    ZeměAT - Rakousko
    Typ akceEUR
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.AT - Rakousko
    Klíč. slovamicroelectronic circuits ; nanoscale technology
    Vědní obor RIVCH - Jaderná a kvantová chemie, fotochemie
    CEPGA203/09/1088 GA ČR - Grantová agentura ČR
    CEZAV0Z40720504 - UCHP-M (2005-2011)
    AV0Z40320502 - UACH-T (2005-2011)
    AnotaceGermanium Nanowires (GeNWs) were synthesized by Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) of hexamethyldigermane (GeMe3)2 at temperature of 490 {degree sign}C and pressure of 90-100 Pa. GeNWs of several nanometers in diameter and a few microns in length were deposited onto various substrates - stainless steel, Fe, Mo, Ta, W, Si, and SiO2. Influence of surface pretreatment of the substrates (roughening of surface or Ge sputtering) is discussed in respect to the previously published theory of GeNW growth through the intermetallic alloy mechanism. The results conclude that another mechanism should be taken into account - the non-catalyst mechanism. Ge seeds necessary for triggering GeNW growth are formed by aggregation of Ge atoms/atom clusters/fragments which are stuck onto the substrate surface at the beginning of the process. The non-catalyst growth of GeNW triggered by such mechanism can be applied in growing GeNWs on semiconductors and insulators.
    PracovištěÚstav chemických procesů
    KontaktEva Jirsová, jirsova@icpf.cas.cz, Tel.: 220 390 227
    Rok sběru2010
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.