Počet záznamů: 1
Modelling of RF discharge in argon plasma
- 1.
SYSNO ASEP 0320055 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Modelling of RF discharge in argon plasma Překlad názvu Model RF výboje v argonovém plazmatu Tvůrce(i) Jelínek, Pavel (FZU-D) RID, ORCID
Virostko, Petr (FZU-D)
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Bartoš, P. (CZ)Zdroj.dok. Proceedings of the International Conference on Computational Methods in Science and Engineering 2007 (ICCMSE 2007): Volume 2, Part B. - Melville : American Institut of Physics, 2007 / Simos T.E. ; Maroulis G. - ISBN 978-0-7354-0476-2 Rozsah stran s. 1240-1243 Poč.str. 4 s. Akce International Conference on Computational Methods in Science and Engineering 2007 (ICCMSE 2007) Datum konání 25.09.2007-30.09.2007 Místo konání Corfu Země GR - Řecko Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova particle modelling ; fluid modelling ; hybrid modelling ; argon plasma ; RF plasma Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech CEP KAN400720701 GA AV ČR - Akademie věd GA202/06/0776 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) AV0Z10100521 - FZU-D (2005-2011) UT WOS 000252602900305 Anotace An one-dimensional hybrid model of RF discharge in low-temperature argon plasma is presented in our paper. The hybrid model consists of two parts—particle model which simulates fast electrons while fluid model simulates slow electrons and positive argon ions. Typical results of our calculations presented in this paper are total RF current and RF voltage waveforms on the planar substrate immersed into argon plasma. The next results which can be found here are the ion, electron and displacement current waveforms on the substrate. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2012
Počet záznamů: 1