Počet záznamů: 1
Comparative study of electrical properties of nano to polycrystalline diamond films
- 1.
SYSNO ASEP 0319787 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Ostatní články Název Comparative study of electrical properties of nano to polycrystalline diamond films Překlad názvu Studium elektrických vlastnosti nano a polykrystalických vrstev diamantu Tvůrce(i) Vojs, M. (SK)
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Ižák, T. (SK)
Škriniarová, J. (SK)
Novotný, I. (SK)
Valent, P. (SK)
Michalka, M. (SK)
Kováčik, T. (SK)
Veselý, M. (SK)Zdroj.dok. Journal of Physics: Conference Series. - : Institute of Physics Publishing - ISSN 1742-6588
Roč. 100, č. 5 (2008), 052097/1-052097/4Poč.str. 4 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. GB - Velká Británie Klíč. slova microwave plasma CVD ; hot filament CVD ; electrical measurements Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEZ AV0Z10100521 - FZU-D (2005-2011) DOI 10.1088/1742-6596/100/5/052097 Anotace Diamond films were grown by Microwave Plasma (MP) and Hot Filament chemical Vapor Deposition (HF CVD) on Si substrates. The dependence of electrical properties on the film morphology was studied. The surface morphology of grown layers was analyzed by scanning electron microscopy. The different crystallographic character of diamond layers, i.e. either polycrystalline or nanocrystalline, was achieved by using different deposition conditions. Lower-quality diamond films were less sensitive to variation in the operating conditions. The film break-down voltage and other electrical parameters strongly depend on the morphological character, the grain size and defects in layers. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2009
Počet záznamů: 1