Počet záznamů: 1
Influence of substrate material on plasma in deposition/sputtering reactor: experiment and computer simulation
- 1.
SYSNO ASEP 0308150 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Influence of substrate material on plasma in deposition/sputtering reactor: experiment and computer simulation Překlad názvu Vliv vzorku na plazma v depozičním/odprašovacím reaktoru: experiment a počítačová simulace Tvůrce(i) Brzobohatý, Oto (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Buršíková, V. (CZ)
Nečas, D. (CZ)
Valtr, M. (CZ)
Trunec, D. (CZ)Zdroj.dok. Journal of Physics D-Applied Physics. - : Institute of Physics Publishing - ISSN 0022-3727
Roč. 41, č. 3 (2008), 035213:1-8Poč.str. 8 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. GB - Velká Británie Klíč. slova r. f. plasma ; computer simulation ; secondary electron emision ; plasma deposition ; plasma sputtering Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech CEP GA202/07/1669 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) UT WOS 000253177800036 DOI 10.1088/0022-3727/41/3/035213 Anotace The aim of the present work was to investigate the influence of the substrate material on the plasma enhanced chemical vapor deposition and the plasma sputtering of thin films in low pressure parallel-plate r.f. discharges. It was observed that the deposition or sputtering rates differed above different materials, e.g., above a substrate and substrate electrode. Moreover, the substrates placed on the bottom r.f. electrode seemed to be mirrored in the thickness of a thin film deposited or sputtered on the upper grounded electrode. The influence of the substrate material on the plasma parameters was studied via Particle In Cell/Monte Carlo computer simulation. According to our finding the mirroring of the substrate was caused by different secondary electron emission yields of the substrate material and material of the substrate electrode. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2008
Počet záznamů: 1