Backscattered electron imaging using the improved YAG scintillation detector
1.
SYSNO ASEP
0205648
Druh ASEP
C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV
D - Článek ve sborníku
Název
Backscattered electron imaging using the improved YAG scintillation detector
Tvůrce(i)
Autrata, Rudolf (UPT-D) Matějková, Jiřina (UPT-D)
Zdroj.dok.
Proceedings of the 6th Multinational Congress on Microscopy - European Extension / Milat O. ; Ježek D.. - Zagreb : Croatian Society for Electron Microscopy, 2003
Rozsah stran
s. 450 - 451
Poč.str.
2 s.
Akce
MCEM
Datum konání
01.06.2003-05.06.2003
Místo konání
Pula
Země
HR - Chorvatsko
Typ akce
EUR
Jazyk dok.
eng - angličtina
Země vyd.
HR - Chorvatsko
Klíč. slova
backscattered electron ; scintillator ; detector
Vědní obor RIV
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
CEP
IBS2065107 GA AV ČR - Akademie věd
CEZ
AV0Z2065902 - UPT-D
Anotace
It is known that the E-T scintillation PMT system [1] represents the most efficient detector of signal electrons in the SEM. Today, practically all types of SEMs are standardly equipped with this detector for the detection of secondary electrons (SEs). For backscattered electrons (BSEs) not only scintillation detector but also semiconductor and channel plate detectors are used. The highest detection quantum efficiency (DQE) is achieved with the scintillation detector on the basis of the yttrium aluminium garnet single crystal scintillator (YAG)[2].
Pracoviště
Ústav přístrojové techniky
Kontakt
Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru
2004
Počet záznamů: 1
Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom
jak používáme cookies.