Počet záznamů: 1
Detection of angular distribution of signal electrons in low-voltage SEM
- 1.
SYSNO ASEP 0109026 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Detection of angular distribution of signal electrons in low-voltage SEM Překlad názvu Detekce úhlového rozložení signálních elektronů v nízkoenergiovém REM Tvůrce(i) Vlček, Ivan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Lencová, Bohumila (UPT-D) RID, SAI
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAIZdroj.dok. EMC 2004 - Proceedings of the 13th European Microscopy Congress, 1 - Instrumentation & Methodology.. - Liege : Belgian Society for Microscopy, 2004 Rozsah stran s. 337-338 Poč.str. 2 s. Akce EMC 2004 /13./ European Microscopy Congress Datum konání 22.08.2004-27.08.2004 Místo konání Antwerp Země BE - Belgie Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. BE - Belgie Klíč. slova low energy SEM ; Wien filter ; CCD detector Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP GA202/03/1575 GA ČR - Grantová agentura ČR Anotace In an UHV apparatus designed in ISI Brno, a low-energy SEM (a scanning LEEM) is realized by adding a cathode-lens attachment to a SEM. Our aim is redesign the LESEM in the apparatus to allow the detection of the angular distribution of signal electrons. For this we have to separate the signal electrons from the primary beam with a Wien filter and project the image of the back-focal plane of the objective lens on an area-sensitive detector (a back-illuminated CCD). For this we have to design a new electrostatic optics working in UHV Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2005
Počet záznamů: 1