Počet záznamů: 1
Acquisition of the Angular Distribution of Backscattered Electrons at Low Energies
- 1.
SYSNO ASEP 0082250 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Acquisition of the Angular Distribution of Backscattered Electrons at Low Energies Překlad názvu Snímání úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů při nízkých energiích Tvůrce(i) Müllerová, Ilona (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Konvalina, Ivo (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Frank, Luděk (UPT-D) RID, SAI, ORCIDZdroj.dok. Materials Transactions. - : Japan Institute of Metals and Materials - ISSN 1345-9678
Roč. 48, č. 5 (2007), s. 940-943Poč.str. 4 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. JP - Japonsko Klíč. slova angular distribution of backscattered electrons ; scanning electron microscopy ; low energy electron microscopy ; cathode lens principle ; multichannel detection of electrons ; crystallinic contrast Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP GA102/05/2327 GA ČR - Grantová agentura ČR GA202/04/0281 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) UT WOS 000247274100011 DOI 10.2320/matertrans.48.940 Anotace New type of detection system has been designed and tested in the Scanning Electron Microscope. Backscattered electrons (BSE) at low energies of electron impact are collected by an annular detector above the specimen, consisting of eight concentric ring-shaped collectors arranged around the optical axis so that polar angles of the initial velocity vectors of electrons can be distinguished. Backscattering of electrons, in particular around and below 1 keV of impact energy, provides rich information content that even enhances toward higher angles with respect to the surface normal. Slow, high-angle BSE are normally not detected with standard detectors. The cathode lens principle was used to secure high lateral resolution, high collection efficiency and large amplification of the detector at low energies. Prospective applications include the grain orientation contrast, contrast between amorphous and crystallinic phases, etc. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2007
Počet záznamů: 1