Počet záznamů: 1
Microwave and hot filament chemical vapour deposition of diamond multilayers on Si and WC-Co substrates
- 1.
SYSNO ASEP 0054689 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Microwave and hot filament chemical vapour deposition of diamond multilayers on Si and WC-Co substrates Překlad názvu Chemická depozice z plynné fáze využívající mikrovlnný výboj nebo žhavené vlákno diamantových multivrstev na Si a WC-Co substrátech Tvůrce(i) Kadlečíková, M. (SK)
Vojs, M. (SK)
Breza, J. (SK)
Veselý, M. (SK)
Frgala, Z. (CZ)
Michalka, M. (SK)
Matějková, Jiřina (UPT-D)
Vojačková, A. (SK)
Daniš, T. (SK)
Marton, M. (SK)Zdroj.dok. Microelectronics Journal. - : Elsevier - ISSN 0026-2692
Roč. 38, č. 1 (2007), s. 20-23Poč.str. 4 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. NL - Nizozemsko Klíč. slova chemical vapour deposition ; nanocrystalline diamond ; Raman spectroscopy ; scanning electron microscopy Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech CEP GA202/05/0607 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) UT WOS 000243832300004 DOI 10.1016/j.mejo.2006.10.006 Anotace A serious problem in the use of chemical-vapour-deposited polycrystalline diamond coatings in electronics, optics as well as in cutting tools is the high surface roughness. In our work, microcrystalline and nanocrystalline diamond films with a thickness of 0.5–5 .mu.m were deposited using microwave chemical vapour deposition (MW CVD), and with a thickness of 1–4 .mu.m by hot filament chemical vapour deposition (HF CVD). For both deposition technologies, we investigated the effect of a negative bias upon the formation of microcrystalline and nanocrystalline diamond multilayers. In the cases of smooth Si and relief WC–Co substrate surfaces, the multilayers were found to have a "cauliflower" look. The structure and composition of deposited layers were checked by scanning electron microscopy and Raman spectroscopy. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2007
Počet záznamů: 1