Počet záznamů: 1
Chemické procesy iniciované nárazem elektronu v nanolitografické metodě FEBID a jejich popis pomocí teorie elektronového rozptylu
- 1.Čársky, Petr - Čurík, Roman
Chemické procesy iniciované nárazem elektronu v nanolitografické metodě FEBID a jejich popis pomocí teorie elektronového rozptylu.
[Electron Beam Induced Chemical Processes in the Nanolithographic Method FEBID and Their Description by Means of the Electron Scattering Theory.]
Chemické listy. Roč. 112, č. 10 (2018), s. 678-682. ISSN 0009-2770. E-ISSN 1213-7103
Obor OECD: Physical chemistry
Impakt faktor: 0.311, rok: 2018
http://hdl.handle.net/11104/0288149
Počet záznamů: 1