Počet záznamů: 1  

The effect of magnetic field strength and geometry on the deposition rate and ionized flux fraction in the HiPIMS discharge

  1. 1.
    Hajihoseini, H. - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Ünaldi, S. - Raadu, M.A. - Brenning, N. - Gudmundsson, J.T. - Lundin, D.
    The effect of magnetic field strength and geometry on the deposition rate and ionized flux fraction in the HiPIMS discharge.
    Plasma. Roč. 2, č. 2 (2019), s. 201-221. E-ISSN 2571-6182
    Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
    Způsob publikování: Open access
    http://hdl.handle.net/11104/0304364
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.