Počet záznamů: 1
Experimental study of the discharge in the low pressure plasma jet sputtering system
- 1.Klusoň, J. - Kudrna, P. - Kolpaková, A. - Picková, I. - Hubička, Zdeněk - Tichý, M.
Experimental study of the discharge in the low pressure plasma jet sputtering system.
Contributions to Plasma Physics. Roč. 53, č. 1 (2013), s. 10-15. ISSN 0863-1042. E-ISSN 1521-3986
Impakt faktor: 0.983, rok: 2013
http://hdl.handle.net/11104/0240876
Počet záznamů: 1