Počet záznamů: 1
Programovatelný systém pro monitorování a řízení depozice tenkých vrstev v plazmatu
- 1.Adámek, Petr - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří
Programovatelný systém pro monitorování a řízení depozice tenkých vrstev v plazmatu.
[Programmable system for monitoring and control of thin film deposition plasma systems.]
Interní kód: DPCS/FZÚ/2013 ; 2013
Technické parametry: Rychlost 85 KSPS, přesnost měření je 0,024%, vstupní napětí +- 10 V
Ekonomické parametry: V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli automatizovaný systém pro monitorování a řízení procesu depozice tenkých vrstev v plazmatu. Laboratorní zařízení je nezbytné pro další aplikovaný výzkum
http://hdl.handle.net/11104/0230598
Počet záznamů: 1