Počet záznamů: 1  

Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy

  1. 1.
    Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Kšírová, Petra - Šmíd, Jiří - Olejníček, Jiří - Kment, Štěpán
    Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy.
    [Linear diagnostic system of plasma deposition for large scale processes.]
    Interní kód: FS3/FZÚ/2012 ; 2012
    Technické parametry: Typ termočlánku kalorimetrické sondy-K. Základní frekvence QCM senzoru 5000,00 kHz. Frekvenční rozsah pulzního napětí pro měření iontového toku 50-400 kHz. Frekvence RF zdroje harmonického napětí pro měření iontového toku 1 MHz Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: FS3/FZÚ/2012
    Ekonomické parametry: V rámci projektu TAČR byl vytvořen měřící diagnostický systém pro velkoplošné depoziční techniky. Tento systém bude součástí realizovaného vícetryskového depozičního MW systému.
    http://hdl.handle.net/11104/0219081
Počet záznamů: 1