Počet záznamů: 1
Modernizovaný elektronový litograf pro optické difraktivní struktury
- 1.Horáček, Miroslav - Matějka, František - Kolařík, Vladimír
Modernizovaný elektronový litograf pro optické difraktivní struktury.
[Electron-beam writing system for diffractive optical elements.]
Interní kód: 65701 ; 2006
Technické parametry: Urychlovací napětí elektronové trysky 15 kV.
Ekonomické parametry: Elektronový litograf BS601M byl nainstalován ve firmě Optaglio v červenci roku 2006 kde nahradil obdobné zastaralé zařízení s horšími parametry.
http://hdl.handle.net/11104/0154449
Počet záznamů: 1