Počet záznamů: 1
Towards high quality ITO coatings: the impact of nitrogen admixture in HiPIMS discharges
- 1.0489659 - FZÚ 2019 RIV CH eng J - Článek v odborném periodiku
Straňák, V. - Bogdanowicz, R. - Sezemsky, P. - Wulff, H. - Kruth, A. - Smietana, M. - Kratochvíl, J. - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk
Towards high quality ITO coatings: the impact of nitrogen admixture in HiPIMS discharges.
Surface and Coatings Technology. Roč. 335, Feb (2018), s. 126-133. ISSN 0257-8972
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: film properties * HiPIMS * ITO * plasma deposition
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Impakt faktor: 3.192, rok: 2018
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0284031
Počet záznamů: 1