Počet záznamů: 1
PEC Reliability in 3D E-beam DOE Nanopatterning
- 1.0451587 - ÚPT 2016 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
Krátký, Stanislav - Urbánek, Michal - Kolařík, Vladimír
PEC Reliability in 3D E-beam DOE Nanopatterning.
Microscopy and Microanalysis. Roč. 21, S4 (2015), s. 230-235. ISSN 1431-9276. E-ISSN 1435-8115
Grant CEP: GA MŠMT(CZ) LO1212
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: proximity effect correction * diffractive optical elements
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Impakt faktor: 1.730, rok: 2015
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0252722
Počet záznamů: 1