Počet záznamů: 1
Multi-SWD plasma jet system for PECVD deposition of thin films
- 1.0438735 - FZÚ 2015 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
Olejníček, Jiří - Čada, Martin - Šmíd, Jiří - Kment, Štěpán - Hubička, Zdeněk
Multi-SWD plasma jet system for PECVD deposition of thin films.
IEEE Transactions on Plasma Science. Roč. 42, č. 10 (2014), s. 2502-2503. ISSN 0093-3813. E-ISSN 1939-9375
Grant CEP: GA TA ČR TA01011740; GA MŠMT LH12045
Grant ostatní: AVČR(CZ) M100101215
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: nuclear and plasma sciences * plasma applications * plasma devices * plasmas
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Impakt faktor: 1.101, rok: 2014
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0242111
Počet záznamů: 1