Počet záznamů: 1
Exposure Time Comparison between E-beam Writer with Gaussian Beam and Variable Shaped Beam
- 1.0437838 - ÚPT 2015 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Horáček, Miroslav - Krátký, Stanislav - Urbánek, Michal - Kolařík, Vladimír - Meluzín, Petr - Matějka, Milan - Chlumská, Jana
Exposure Time Comparison between E-beam Writer with Gaussian Beam and Variable Shaped Beam.
NANOCON 2014. 6th International conference proceedings. Ostrava: TANGER, 2014. ISBN 978-80-87294-55-0.
[NANOCON 2014. International Conference /6./. Brno (CZ), 05.11.2014-07.11.2014]
Grant CEP: GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT ED0017/01/01; GA TA ČR TE01020118
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: e-beam writer * Gaussian beam * variable shaped beam
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0241322
Počet záznamů: 1