Počet záznamů: 1
Time-resolved diagnostics of dual high power impulse magnetron sputtering with pulse delays of 15 μs and 500 μs
- 1.0359582 - FZÚ 2012 RIV DE eng J - Článek v odborném periodiku
Straňák, V. - Drache, S. - Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Tichý, M. - Hippler, R.
Time-resolved diagnostics of dual high power impulse magnetron sputtering with pulse delays of 15 μs and 500 μs.
Contributions to Plasma Physics. Roč. 51, 2-3 (2011), s. 237-245. ISSN 0863-1042. E-ISSN 1521-3986
Grant CEP: GA AV ČR KAN301370701; GA ČR GP202/09/P159; GA AV ČR KJB100100805; GA MŠMT(CZ) 1M06002; GA ČR GA202/09/0800
Grant ostatní: AVČR(CZ) M100100915
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
Klíčová slova: time-resolved plasma diagnostics * optical emission spectroscopy * Langmuir probe * magnetron sputtering
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
Impakt faktor: 1.108, rok: 2011
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0197343
Počet záznamů: 1