Počet záznamů: 1
Fabrication of nanostructured aluminium thin film and in-situ monitoring of the growth
- 1.0351617 - FZÚ 2011 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Novotný, Michal - Bulíř, Jiří - Lančok, Ján - Pokorný, Petr - Bodnár, Michal - Piksová, K.
Fabrication of nanostructured aluminium thin film and in-situ monitoring of the growth.
Nanostructured Thin Films III. Bellingham: SPIE, 2010 - (Martin-Palma, R.; Jen, Y.; Lakhtakia, A.), 7766OU/1-7766OU/8. Proceedings of SPIE, 7766. ISBN 9780819482624. ISSN 0277-786x.
[Nanostructured Thin Films III. San Diego (US), 04.08.2010-05.08.2010]
Grant CEP: GA AV ČR IAA100100718; GA AV ČR KAN400100653; GA ČR GP202/09/P324; GA AV ČR IAA100100729
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
Klíčová slova: aluminium ultra thin film * magnetron sputtering * in-situ monitoring * electrical conductivity * spectral ellipsometry * optical emission spectroscopy
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
http://dx.doi.org/10.1117/12.860555
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0191329
Počet záznamů: 1