Počet záznamů: 1
Measurements of plasma parameters during Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. thin films deposition by double hollow cathode plasma jet system
- 1.0324065 - FZÚ 2009 RIV CZ eng J - Článek v odborném periodiku
Olejníček, Jiří - Hubička, Zdeněk - Virostko, Petr - Deyneka, Alexander - Jastrabík, Lubomír - Adámek, P. - Šícha, M. - Tichý, M. - Šíchová, H.
Measurements of plasma parameters during BaxSr1-xTiO3 thin films deposition by double hollow cathode plasma jet system.
[Měření parametrů plazmatu během depozice tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 pomocí dvoutryskového plazmatického systému s efektem duté katody.]
Czechoslovak Journal of Physics. Roč. 56, Suppl. B (2006), B1283-B1289. ISSN 0011-4626
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
Klíčová slova: BSTO thin films * hollow cathode sputtering * Langmuir probe * emission spectroscopy
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
Impakt faktor: 0.568, rok: 2006
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0005187
Počet záznamů: 1