Počet záznamů: 1
Příprava germanidu a silicidu hořečnatého z odpadních surovin pro získávaní superčistých polovodičů, vodíku a CVD prekurzorů.
- 1.0485072 - ÚCHP 2018 CZ cze C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Bumba, Jakub - Dytrych, Pavel - Kaštánek, František - Šolcová, Olga
Příprava germanidu a silicidu hořečnatého z odpadních surovin pro získávaní superčistých polovodičů, vodíku a CVD prekurzorů.
[Preparation of Magnesium Germanide and Silicide from Waste Materials for Ultra-Pure Semiconductors, Hydrogen and CVD Precursors Production.]
Sborník. Praha: Česká společnost chemického inženýrství, 2017, s. 48, č. článku A1.1. ISBN N.
[Konference chemického a procesního inženýrství - CHISA 2017 /64./. hotel Jezerka, přehrada Seč (CZ), 23.10.2017-26.10.2017]
Grant CEP: GA ČR GA15-14228S
Institucionální podpora: RVO:67985858
Klíčová slova: magnesium germanide * magnesium silicide * regeneration of semiconductors
Obor OECD: Chemical process engineering
.
.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0280176
Název souboru Staženo Velikost Komentář Verze Přístup SKMBT_C22017112809372.pdf 22 596.8 KB Vydavatelský postprint povolen
Počet záznamů: 1