Počet záznamů: 1
Fabrication of functional nanostructures in thin silicon nitride membranes
- 1.0512151 - ÚPT 2020 JO eng A - Abstrakt
Matějka, Milan - Chlumská, Jana - Krátký, Stanislav - Řiháček, Tomáš - Knápek, Alexandr - Kolařík, Vladimír
Fabrication of functional nanostructures in thin silicon nitride membranes.
Fourth International Symposium on Dielectric Materials and Applications (ISyDMA 4). Book of Abstracts. Amman: Jordan University of Science & Technology, 2019.
[The Fourth International Symposium on Dielectric Materials and Applications (ISyDMA 4). 02.05.2019-04.05.2019, Amman]
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: thin dielectric layers * silicon nitride * membranes * electron beam lithography
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0302363
Počet záznamů: 1