Počet záznamů: 1
Fabrication of diamond membranes by femtosecond laser ablation for MEMS sensor applications
SYS 0540754 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103225548.7 017 $a 10.3390/proceedings2020056013 $2 DOI 100 $a 20210307d m y slo 03 ba 101 $a eng 102 $a CH 200 1-
$a Fabrication of diamond membranes by femtosecond laser ablation for MEMS sensor applications 215 $a 3 s. $c E 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0540752 $1 011 $e 2504-3900 $1 200 1 $a Proceedings of 4th International Conference nanoFIS 2020 - Functional Integrated nanoSystems $v S. 1-3 $1 210 $a Basel $c MDPI $d 2020 $1 702 1 $a Köck $b A. $4 340 $1 702 1 $a Deluca $b M. $4 340 610 $a diamond 610 $a GaN 610 $a MEMS 610 $a laser ablation 700 -1
$3 cav_un_auth*0406811 $a Zehetner $b J. $y AT 701 -1
$3 cav_un_auth*0100328 $a Kromka $b Alexander $p FZU-D $i Diamantové a příbuzné materiály $j Diamond and Associated Materials $w Optical Materials $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0406687 $a Izsák $b Tibor $p FZU-D $i Diamantové a příbuzné materiály $j Diamond and Associated Materials $y SK $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0290320 $a Vanko $b G. $y SK 701 -1
$3 cav_un_auth*0373192 $a Gajdošová $b L. $y AT 701 -1
$3 cav_un_auth*0406810 $a Kasemann $b S. $y AT
Počet záznamů: 1