Počet záznamů: 1  

Comparison of Three Focus Sensors for Optical Measurement of Rough Surface Topography

  1. SYS0536751
    LBL
      
    01000a^^22220027750^450
    005
      
    20240103225022.4
    014
      
    $a 85102411634 $2 SCOPUS
    017
      
    $a 10.1364/DH.2020.HTh5H.2 $2 DOI
    100
      
    $a 20201229d m y slo 03 ba
    101
      
    $a eng $d eng
    102
      
    $a US
    200
    1-
    $a Comparison of Three Focus Sensors for Optical Measurement of Rough Surface Topography
    215
      
    $a 2 s. $c P
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0536726 $1 010 $a 978-1-943580-77-4 $1 200 1 $a Imaging and Applied Optics Congress. Proceedings $i Computational Optical Sensing and Imaging $1 210 $a Washington $c OSA $d 2020
    610
      
    $a focus sensor
    610
      
    $a optical metrology
    610
      
    $a rough topography
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0267513 $a Šarbort $b Martin $p UPT-D $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherence Optics $w Coherencets Optics $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0286699 $a Holá $b Miroslava $p UPT-D $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherence Optics $w Coherents Optics $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0321728 $a Pavelka $b Jan $p UPT-D $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherence Optics $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0259099 $a Řeřucha $b Šimon $p UPT-D $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherence Optics $w Coherents Optics $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0267376 $a Oulehla $b Jindřich $p UPT-D $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherence Optics $w Coherents Optics $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0258192 $a Fořt $b Tomáš $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $y CZ $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0101586 $a Lazar $b Josef $p UPT-D $i D6: Koherenční optika $j D6: Coherence Optics $w Coherents Optics $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    856
      
    $u https://www.osapublishing.org/abstract.cfm?URI=DH-2020-HTh5H.2 $9 RIV
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.