Počet záznamů: 1  

Plasma diagnostics in reactive high-power impulse magnetron sputtering system working in Ar + H.sub.2./sub.S gas mixture

  1. SYS0533973
    LBL
      
    01000a^^22220027750^450
    005
      
    20240103224645.5
    014
      
    $a 85083055184 $2 SCOPUS
    014
      
    $a 000524211800051 $2 WOS
    017
    70
    $a 10.3390/coatings10030246 $2 DOI
    100
      
    $a 20201104d m y slo 03 ba
    101
    0-
    $a eng
    102
      
    $a CH
    200
    1-
    $a Plasma diagnostics in reactive high-power impulse magnetron sputtering system working in Ar + H2S gas mixture
    215
      
    $a 17 s.
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0377065 $1 011 $e 2079-6412 $1 200 1 $a Coatings $v Roč. 10, č. 3 (2020), s. 1-17 $1 205 $a ONLINE $1 210 $c MDPI
    608
      
    $a Article
    610
      
    $a HiPIMS
    610
      
    $a Langmuir probe
    610
      
    $a optical emission spectrometry
    610
      
    $a time-resolved probe measurements
    610
      
    $a H2S
    610
      
    $a electron density
    610
      
    $a electron temperature
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $z K $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100168 $a Čada $b Martin $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0398682 $a Kapran $b Anna $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $y KZ $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0098251 $a Olejníček $b Jiří $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0289739 $a Kšírová $b Petra $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0383701 $a Zanáška $b Michal $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0236881 $a Adámek $b Petr $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0014958 $a Tichý $b M. $y CZ
    856
      
    $u http://hdl.handle.net/11104/0312196 $9 RIV
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.