Počet záznamů: 1
Automated System for Optical Inspection of Defects in Resist-coated Non-patterned Wafer
SYS 0532029 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103224402.9 014 $a 85091405823 $2 SCOPUS 014 $a 000559771600001 $2 WOS 017 70
$a 10.47011/13.2.1 $2 DOI 100 $a 20200908d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng $d eng 102 $a JO 200 1-
$a Automated System for Optical Inspection of Defects in Resist-coated Non-patterned Wafer 215 $a 8 s. $c P 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0532028 $1 011 $a 1994-7607 $e 1994-7615 $1 200 1 $a Jordan Journal of Physics $v Roč. 13, č. 2 (2020), s. 93-100 $1 210 $c Yarmouk University 608 $a Article 610 $a optical inspection 610 $a resist layer 610 $a non-patterned wafer 610 $a quality control 700 -1
$3 cav_un_auth*0299810 $a Knápek $b Alexandr $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0367755 $a Drozd $b Michal $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0301528 $a Chlumská $b Jana $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258661 $a Král $b Stanislav $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 856 $u http://journals.yu.edu.jo/jjp/JJPIssues/Vol13No2pdf2020/1.html $9 RIV
Počet záznamů: 1