Počet záznamů: 1
Functional nano-structuring of thin silicon nitride membranes
SYS 0525191 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103224200.0 014 $a 85085758550 $2 SCOPUS 014 $a 000536287900009 $2 WOS 017 70
$a 10.2478/jee-2020-0019 $2 DOI 100 $a 20200622d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng $d eng 102 $a SK 200 1-
$a Functional nano-structuring of thin silicon nitride membranes 215 $a 4 s. $c E 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0294895 $1 011 $a 1335-3632 $e 1339-309X $1 200 1 $a Journal of Electrical Engineering - Elektrotechnický časopis $v Roč. 71, č. 2 (2020), s. 127-130 $1 210 $c Slovenská technická univerzita v Bratislave 608 $a Article 610 $a membrane 610 $a nano optical device 610 $a electron optics 610 $a electron beam lithography 610 $a silicon nitride 610 $a reactive ion etching 610 $a silicon etching 610 $a microfabrication 700 -1
$3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $z K $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0287343 $a Krátký $b Stanislav $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0299342 $a Řiháček $b Tomáš $p UPT-D $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $w Electron Microscopy $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0299810 $a Knápek $b Alexandr $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $p UPT-D $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $w New Technologies $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 856 $u https://content.sciendo.com/view/journals/jee/71/2/article-p127.xml $9 RIV
Počet záznamů: 1