Počet záznamů: 1  

The effect of magnetic field strength and geometry on the deposition rate and ionized flux fraction in the HiPIMS discharge

  1. SYS0519372
    LBL
      
    01000a^^22220027750^450
    005
      
    20240103223403.2
    017
      
    $a 10.3390/plasma2020015 $2 DOI
    100
      
    $a 20200110d m y slo 03 ba
    101
      
    $a eng
    102
      
    $a CH
    200
    1-
    $a The effect of magnetic field strength and geometry on the deposition rate and ionized flux fraction in the HiPIMS discharge
    215
      
    $a 21 s.
    463
    -1
    $1 001 cav_un_epca*0519371 $1 011 $e 2571-6182 $1 200 1 $a Plasma $v Roč. 2, č. 2 (2019), s. 201-221 $1 205 $a ONLINE $1 210 $c MDPI
    610
      
    $a ionized physical vapor deposition
    610
      
    $a magnetron sputtering
    610
      
    $a high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS)
    610
      
    $a ionized flux fraction
    610
      
    $a deposition rate
    700
    -1
    $3 cav_un_auth*0386963 $a Hajihoseini $b H. $y IS
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100168 $a Čada $b Martin $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $w Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $w Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0386964 $a Ünaldi $b S. $y FR
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0386965 $a Raadu $b M.A. $y SE
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0386966 $a Brenning $b N. $y FR
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0386967 $a Gudmundsson $b J.T. $y IS
    701
    -1
    $3 cav_un_auth*0302435 $a Lundin $b D. $y FR
    856
      
    $9 RIV $u http://hdl.handle.net/11104/0304364
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.